ACM Research усиливает портфель продуктов для атомно-слоевого осаждения, проводя квалификацию печей для термического и плазменного ALD-облучения
Инструменты для термической и плазменной ALD-печи, подходящие для крупносерийного 300-мм производства полупроводников Инструменты для термической и плазменной ALD-печи, подходящие для крупносерийного 300-мм производства полупроводников